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真空電鍍時產(chǎn)生掉膜的原因很多也很復(fù)雜。處理起來很棘手,可以考慮從以下幾個方面排除:
1、表面清潔度
產(chǎn)品表面潔凈度不夠,可以考慮離子源清洗時氬氣放大、時間長點(diǎn)。
2、清洗過程中的問題
鍍前清洗不到位,或更換了清洗液。
3、工藝的問題
工藝參數(shù)是否有變動,在鍍膜時間和電流上做適當(dāng)調(diào)整。
4、靶材的問題
鈦靶是否中毒,檢查和更換。
5、真空腔是否漏氣
進(jìn)行一次撿漏。
6、產(chǎn)品表面氧化
氧化的原因很多,可以自行判斷處理。
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